资料摘要
资料下载四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体之一,其组分及混合气体可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。国外主要发达国家都有高纯四氟化碳的生产。随着我国半导体电子工业的迅速发展,四氟化碳的年使用量超过300万t,并逐年增加,这就带来了四氟化碳产品的质量检测问题。建立一种简便快捷、准确度高的检测四氟化碳产品的方法,以满足四氟化碳的迅速发展。高纯四氟化碳产品中的H2、O2、N2、CO2、C2F6、SF6指标是其重要杂质指标之一,对这几种杂质进行检测是进行产品分析的基础,也是四氟化碳产品等级判定的基础。如果在产品检测时能够同时将以上杂质组分定量分析,将大大提高产品分析的效率。据此本文通过查阅相关资料,结合对气体分析的经验,开展了高纯四氟化碳产品中的H2、O2、N2、CO2、C2F6、SF6杂质的同时检测方法的研究。1试验方法1·1方法简述气相色谱法是一种常用的气体分析方法之一,它具有简便快捷、灵敏度高等优点,对于气态样品的检测
5A分子筛及其试验标准
简介:本标准规定了5A分子筛的技术要求、试验方法、检验规则和成品的包装、标志、贮存与运输。 本标准适用于5A分子筛,该产品的主要用途为化工、石油、天然气及其他工业用气体的干燥和精制。
GBT 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼
简介:GB/T 14603-2009 电子工业用气体三氟化硼》本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求 、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全要求。 本标准适用于以氟气和硼 ...
D4检测器用户手册
简介:PDHID检测器是一个无破坏性(0.01-0.1%电离)和高灵敏的检测器。其最小的检测限在皮克数量级范围,该量程内D4检测器对有机化合物的5次检测其响应值仍呈现线形关系。这个响应值对永久性气体在其检测下限ppb范围内呈现正的响应值(标准电流增加)。
D4-sh14脉冲氦离子化检测器(英文)用户手册
简介:PDHID检测器是一个无破坏性(0.01-0.1%电离)和高灵敏的检测器。其最小的检测限在皮克数量级范围,该量程内D4检测器对有机化合物的5次检测其响应值仍呈现线形关系。这个响应值对永久性气体在其检测下限ppb范围内呈现正的响应值(标准电流增加)。
HP2氦气纯化器Helium Purifier and Nitrogen Purifier Instruction Manua
简介:Valco氦气(HP)纯化器的纯化基质是一种无挥发性的吸附性合金,吸附剂粒子表面有一层氧化膜需通过加热活化,活化过程必须在真空或惰性气体环境下完成,这样可允许氦气在其间自由扩散,防止氧气纯化层的形成,又可以进行杂质气体的吸附。HP的吸附剂材料具有良好的热稳定性,包括两个温度控制范围。
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