方案摘要
方案下载| 应用领域 | 石油/化工 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | 暂无 |
制备多晶硅时，用液氨法在低温下产生的硅烷，除主成份Sil 外，尚台H 、微 NH。、 sizH B、cH 、Hzo、oz、N：、PH。，以及痕量的B H 和A sH。等杂质，而其中有些杂质， 如CH．、H zO、Nz等，主要由液氨带入。因此，要加强原材料的分析，严格监控 艺过程 中硅烷气内的有害杂质，采取必要的纯化措施。这样，将大大提高由分解炉中析出的多晶硅 质量。采用气相色谱法分析硅烷及其杂质，由于它具有快速 灵敏、准确、进样量少等优点， 正逐步被人们采用。 本文主要介绍我们工作中用来分析SIH 及其CH
文献贡献者
高纯绷烷中水的低温气相色谱分析
高纯绷烷中总碳的低温气相色谱分析
高纯绷烷中氢的低温气相色谱分析
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