X-荧光光谱仪有两种类型：一种是波长色散型(WDX)，一种是能量色散型(EDX)，我公司(INNOV-X中国服务中心)使用的是波长色散型(XRF分析仪)，在WDX中，荧光光谱通过色散元件(如晶体)被分离成不连续的波段，然后用气体正比计数器或闪烁计数器检测，其主要组成是X光管、初级准直器、晶体、次级准直器和探测器，及辅助装置如初级滤光片等。
SDD探测器X荧光仪共有2个探测器，即流气正比计数器和闪烁计数器，装在探测器架上，可程控切换.扫描式X射线荧光仪安装的是具有很大测定灵活性的测角仪，只要配备了必要的分析晶体就能按序分析周期表上多达83个元素。
此外，测角仪还可以使用半定量分析元件如QuantAS，这些软件能快速分析未知样品，而不需要使用标准参考物质做仪器校准。而我公司ARL9800XP荧光光谱仪装有一个测角仪(扫描道)和一个衍射道，如果需要还可以再装14个固定道，它配有12位样品交换器，可以设定自动进样。http://www.instrument.com.cn/netshow/C216973.htm
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