EDXRF应用报告-硅薄膜

2010/11/03   下载量： 83 次

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简单的2点经验系数方法应用于半导体工业中硅载体上的薄膜镀层中SiO2, AlSi, Ti, TiN, Pt, AlCu和BPSG的质量控制。本应用展示了NEX CG EDXRF分析仪能够在半导体晶体薄膜应用中的卓越性能。

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北京兰友科技有限公司
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