OG臭氧发生器

OG臭氧发生器

参考价:面议
型号: OG
产地: 美国
品牌: IN USA
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产品详情

OG系列臭氧发生器采用电晕放电原理,产生高浓度臭氧气体。

应用:

  • CVD

  • ALD

  • 氧化物生长

  • 表面处理

  • 湿刻

  • 颗粒清洁

  • 光阻去除

  • 外延


技术规格:

  • 最大臭氧产量:OG-5000-A 210g/hr   OG-5000-B 150g/hr

  • 氧气纯度要求:6个9或更高

  • 氮气要求:5个9或更高

  • 进气流量:0.5-20slpm

  • 臭氧出口压力:15-40psi

  • 运行环境温度:5-35度

  • 冷却水温度:20+—3度

  • 冷却水流量:1-1.2gpm at 60psi

  • 冷却水品质:半导体级

上海卯林机电设备有限公司为您提供IN USAOG臭氧发生器,IN USAOG产地为美国,属于臭氧发生器,除了OG臭氧发生器的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多臭氧发生器,上海卯林客服电话400-860-5168转6085,售前、售后均可联系。

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