SEM在MEMs中的应用

2016/05/06   下载量： 13 次

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应用领域 半导体
检测样本 其他
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是德科技的FE-SEM 8500采用热场发射电子枪，为用户提供高亮度、高分辨的成像性能。独特的设计使其可以在1kV条件下达到优于10nm的分辨率。创新的全静电透镜设计保证了重复性，并无需定期的调校。FE-SEM 8500提供多种成像模式：包括二次电子成像、背散射电子成像和形貌成像。

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是德科技FE-SEM 8500B在MEMs行业的应用

是德科技的FE-SEM 8500采用热场发射电子枪，为用户提供高亮度、高分辨的成像性能。独特的设计使其可以在1kV条件下达到优于10nm的分辨率。创新的全静电透镜设计保证了重复性，并无需定期的调校。FE-SEM 8500提供多种成像模式：包括二次电子成像、背散射电子成像和形貌成像。

—世界上唯一的小型场发射扫描电子显微镜

MEMS 典型应用：

            –– 表面高分辨成像

            –– 表面及内部 结构分析

            –– 成分分析

            –– 各种失效分析

MEMS accelerometer

AFM Cantilevers

Resonators

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文献贡献者

是德科技（中国）有限公司
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