布鲁克3D白光干涉显微镜

参数规格：

最大扫描量程：         10mm

垂直分辨率:              <0.01nm

RMS 重复性 (PSI) :   0.01nm

台阶高度准确性:        0.75%

台阶高度重复性:        <0.1% 1sigma repeatability

最大坡度 – 光滑面:    可达 40°

最大坡度 – 粗糙面:    Up to 87°

光学测量模块:           双LED（专利）照明,单筒物镜或转塔，单个放大镜或自动转动放大镜

物镜:                       同焦面: 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 115x

                              长工作距离: 1x, 1.5x, 2x, 10x

                              TTM: 2x, 5x, 10x, 20x

                              明场: 5x, 10x, 20x, 50x

放大镜:                    0.55x, 0.75x, 1x, 1.5x, 2x

校准:                       可溯源的台阶高度标准样

软件系统:                 基于Windows 7 64 位操作系统的 Vision64 分析软件

价格面议，联系人：姚迪 先生 

                        电话：135 1085 3931