滨松C11011-01W 微米膜厚测量仪_价格-滨松光子学商贸（中国）有限公司

产品详情

C11011-01W 微米膜厚测量仪

C11011-01W型光学微米膜厚测量仪利用激光相干度量学原理，测量速度达60Hz，适用于产品线上在线测量。此外，选配的映射系统可以测量指定样品的厚度分布。C11011-01W应用广泛，比如用于产品制造过程监控或质量控制。欢迎您登陆滨松中国全新中文网站查看该产品更多详细信息！

特性

利用红外光度测定进行非透明样品测量
测量速度高达60 Hz
测量带图纹晶圆和带保护膜的晶圆
长工作距离
映射功能
可外部控制

参数

型号	C11011-01W
可测膜厚范围（玻璃）	25 μm to 2900 μm^*1
可测膜厚范围（硅）	10 μm to 1200 μm^*2
测量可重复性（硅）	100 nm^*3
测量准确度（硅）	< 500 μm: ±0.5 μm； > 500 μm: ±0.1 %^*3
光源	红外LED（1300 nm）
光斑尺寸	φ60 μm^*4
工作距离	155 mm^*4
可测层数	一层（也可多层测量）
分析	峰值探测
测量时间	22.2 ms/点^*5
外部控制功能	RS-232C / PIPE
接口	USB2.0
电源	AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗	50W

*1：SiO2薄膜测量特性

*2：Si薄膜测量特性

*3：测量6 μm厚硅薄膜时的标准偏差

*4：可选配1000mm工作距离的模型C11011-01WL

*5：连续数据采集时间不包括分析时间

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Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 滨松光子学商贸（中国）有限公司
企业类型:
信用代码: 110000450180837
成立日期: 2011年08月01日
注册资本: 0
经营范围: 批发、零售II类医疗器械、计算机、软硬件及辅助设备;光电子相关产品、半导体相关产品、光技术应用装置、X线技术应用装置、生物制品(未经专项审批的项目除外)以及上述产品相关部件、软件、配件的批发、佣金代理(拍卖除外)、货物进出口(涉及配额许可证管理、专项规定管理的商品按照国家有关规定办理);售后服务;技术咨询;软件开发;技术开发、技术转让、技术服务;租赁仪器仪表;批发、零售第III类医疗器械。(批发、零售第III类医疗器械以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。)

型号：	C11011-01W
产地：	日本
品牌：	滨松
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