滨松研制嵌入指拇尺寸MEMS-FTIR引擎的紧凑NIR光谱仪

滨松光子学商贸（中国）有限公司

2014/12/23 16:28

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滨松MEMS-FTIR C12606系列.jpg

滨松MEMS-FTIR C12606系列

MEMS-FTIR（傅里叶转换红外光谱）光谱仪是一个紧凑的，低成本的傅里叶转换红外光谱仪，一个迈克尔逊干涉仪以及红外探测器都打包在一个小小的光谱仪中。通过USB连接到电脑上能够进行光谱测量以及吸光度测量。

葡萄糖测量.jpg

葡萄糖溶液测量

（使用MEMS-FTIR可以实现葡萄糖密度的高精准预估）

MEMS干涉仪SEM图像.jpg

MEMS干涉仪SEM图像

滨松MEMS-FTIR C12606系列规格：

parameter	symbol	C12606-01	C12606-02	Unit
spectral response range	λ	1.15 to 1.65	1.15 to 2.05	μm
spectral resolution（FWHM）*1	Δλ	8 (λ =1.65 μm)	12 (λ =2.05 μm)	μm
SNR *2	25 deg. C.	30	29	dB
SNR *2	40 deg. C.	29	25	dB
scan rate*3		5		ms
dimensions（W x D x H）		100 x 75 x 27		mm

*1 About 29 cm-1 in wavenumber
*2 On a condition of about 600 μW white light input at a fi ber (φ200 μm, NA = 0.2), 1 s integration time
*3 The minimum time to acquire an optical spectrum, cutoff frequency: 200 Hz

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