Peak氢气发生器新应用——化学气相沉积CVD

2018-11-08 15:32  下载量:8

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化学气相沉积法是近年发展起来的制备无机材料的新技术。此方法是利用气态或蒸汽状态的物质在固体表面上进行化学反应,其中,用氢气还原卤化物来制备各种金属或多晶硅薄膜是最为常用的化学反应,从而形成所需要的固态薄膜或涂层。Peak氢气发生器可提供高纯度的氢气,安全、可靠,是化学气相沉积应用优质的氢气气源。

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