波前传感器

波前传感器
ML4560
.波前传感器由传感器头部和新软件raylux ML1240组成，它具有高动态范围及高精度。传感器头部为预校准的，基准波前已置于软件之内。无需再校准即可进行高精度的测量。该软件包括激光波前的分析，并且光束质量分析软件beamlux ML1200符合ISO标准。运用ML3743摄像头，可随意的对光束进行分析。
规格：

	ML4010
CCD-传感器	2/3”
动态	12 bit
像素#	1392 x 1040
波长范围	350 nm - 1100 nm
通过可选 转换器	190 nm - 350 nm
光瞳大小	8.97 x 6.71 mm
最大帧速率	15 fps
空间分辨率	200 μm
子孔径数量	45 x 34
动态范围（倾斜）	± 1,6° (730 lamda)
波前精度	< 16 μrad
动态范围（焦点）	72 mm (370 lamda)
精度	5 x 10-4 /m
系统精度	10 nm
重复精度	10 nm
波前精度	20 nm