ATLEX-1000-I高重频准分子激光器

ATLEX-1000-I高重频准分子激光器
--High frequency excimer laser
高重复频率（可达1000Hz）
全新技术的金属陶瓷腔
超快电晕预电离技术
采用固态开关，工作寿命长
激光腔体<3L
全部风冷，温度控制
方便清洗的光学镜架
内部集成4个电磁阀，方便气体处理
系统集成RS485，RS232，USB和FOC接口
能量稳定模式
符合欧洲CE标准，RoHS认证
 

气体介质	KrF	XeCl	单位
波长	248	308	Nm
最大脉冲能量	15	8	mJ
最大平均功率	8	10	W
最大重复频率	1000		Hz
脉冲宽度	5-8		ns
光束直径(VxH)	4x6		mm
光束发散角(VxH)	1x2		mrad
能量稳定性	<3		%
冷却方式	风冷