型号: | MLI200,MLI500,MLI1000 |
产地: | 德国 |
品牌: | |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
MLI-200/500/1000
主要特点 优点
刚性设计 可靠性高
电晕预电离技术 光斑能量分布均匀
固态集成电路 可直接使用,无老化现象
先进的激光腔技术 全金属密封腔
激光腔的寿命长达几十亿次脉冲
能量监控 能量稳定
紧凑型结构,占用空间小, 操作方便,易于集成
单相供电
技术参数
气体介质 | ArF | ArF | ArF | KrF | KrF | KrF |
波长(nm) | 193 | 193 | 193 | 248 | 248 | 248 |
最大重复频率(Hz) | 200 | 500 | 1000 | 200 | 500 | 1000 |
稳定单脉冲能量(mJ) | 6 | 6 | 6 | 10 | 10 | 10 |
稳定单脉冲功率(W) | 1.2 | 3.0 | 6.0 | 2.0 | 5.0 | 10 |
能量稳定性(sigma,%) | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
光班尺寸(FWHM,V*H mm) | 6*3 | 6*3 | 6*3 | 6*3 | 6*3 | 6*3 |
光束发散角(FWHM,V*H mrad) | 2*1 | 2*1 | 2*1 | 2*1 | 2*1 | 2*1 |
脉冲宽度(FWHM)(ns) | 5-10 | 5-10 | 5-10 | 5-15 | 5-15 | 5-15 |
动态气体寿命 1000Hz,能量稳定于4mJ,ArF
常规物理参数
重量 约75kg
制冷方式 风冷
供电要求 230V,50/60Hz,最大需求功率2000W
尺寸(L*W*H) 560*315*445mm
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询