科技平台是支撑国家科技进步、凝聚高层次人才、保障现代科技发展的物质基础与条件,是国家科技创新体系的重要组成部分。加强平台的科技创新特别是原创性、颠覆性的科技创新,聚力攻关“卡脖子”技术,是实现国家高水平科技自立自强的基础保障。
复享光学成立十余年来,深度参与科技平台及产业化建设,致力于与科学家共同解决科学研究、微电子、光电子、光子、能源等领域中遇到的关键光学计量检测问题,已成为中国先进光谱技术领导者。复享光学是第一家以光子技术为根基的光谱仪器企业,产品覆盖光谱仪/模组、光学量检测系统与各类光学计量子系统。我们致力于为市场提供更高效率、更低成本的光谱解决方案。
集成光子芯片的相位表征
应用领域:超表面、超透镜
Metasurface/Metalens
超透镜/超表面将会取代传统几何光学镜片成为下一代光学系统的关键器件,围绕其研发过程中的相位与光学性能表征需求,以及量产过程中的形貌、缺陷计量与检测需求,提供全面的光学量检测仪器与设备。
推荐设备:超构透镜光学检测系统
纳米激光器的性能表征
应用领域:PCSEL/BIC 与纳米激光器
PCSEL 以其高功率和高质量的光束而备受科研与产业的关注,围绕其研发阶段的光子能带与辐射模式的表征,以及量产阶段的激光特性表征,提供光学与光电量检测仪器。
推荐设备:显微角分辨光谱仪
集成光子器件的量检测平台
应用领域:AR/VR 光学计量检测
AR/VR 有望成为下一代人机交互平台,针对 AR眼镜中的关键光学器件——衍射光波导——研发过程中的绝对/相对衍射效率测量、高精度周期计量,以及量产过程中的表面形貌计量,提供桌面式与晶圆级的光学量检测设备。
推荐设备:光栅衍射效率测量系统、晶圆级衍射光波导光学检测系统
集成光子器件的表征平台
应用领域:光子晶体、拓扑光子学与 BIC
BIC 是当前光子晶体研究的热点,通过动量空间的光子能带测量可以清晰地发现各个位置的 BIC,特别是通过表征本征态在动量空间的偏振态分布,可以发现 BIC 背后的拓扑机制——动量空间光谱测量对于 BIC 研究具有至关重要的作用。
推荐设备:角分辨光谱仪、显微角分辨光谱仪
有机半导体的光谱表征
应用领域:有机光伏,有机晶体管,有机发光(OLED)
面向有机光伏、有机晶体管和OLED等应用场景,提供分子取向测定、膜厚测量和原位共焦光谱表征等检测设备,推动材料优化、器件研发和量产。
推荐设备:分子取向表征系统、膜厚检测仪、原位共焦光谱表征系统
面向钙钛矿光伏电池从实验室到量产的
全链条表征
应用领域:钙钛矿光伏电池
围绕钙钛矿光伏电池在实验室及中小试产线的制备、表征及计量需求,建立全链条的表征系统,可以全面了解钙钛矿光伏电池的制备过程和性能特征,为进一步提高钙钛矿光伏电池的性能、稳定性和可靠性提供科学依据。
推荐设备:钙钛矿光伏电池组件整线解决方案及全链条表征平台
面向大科学装置检测的高能光谱仪
应用领域:半导体光刻机/厂设备客户
Helios高能光谱仪服务于极紫外光源的质量检测:测量FEL的基频和谐波的EUV光谱,以诊断光束质量;测量高电荷态Sn离子的发射光谱,以诊断等离子体状态。
推荐设备:高能光谱仪
面向集成电路加工过程监控的方案
应用领域:量测 metrology
面向集成电路领域的薄膜量测和光学关键尺寸(OCD)量测设备,提供高性能的核心光谱检测模块。
推荐设备:量测光谱仪
应用领域:刻蚀终点检测 EPD
•OES方案:针对Poly、SiNx、OX、PR、金属等有截止层刻蚀工艺提供终点检测
•IEP方案:针对3D NAND台阶刻蚀、沟槽型SiC MOSFET凹槽刻蚀等无截止层刻蚀工艺提供终点检测
推荐设备:终点检测方案
材料元素分析平台
应用领域:光学发射光谱测元素成分
原子光谱提供了原子内部结构的丰富信息,可用于对元素的定性和定量分析。高分辨发射光谱仪是原子光谱测量表征的必备测量仪器。
推荐设备:多通道光学发射光谱仪
面向生物医学的检测平台
应用领域:早期癌变的分子诊断
拉曼光谱仪在分子水平上为组织中 DNA、蛋白质和脂类物质的结构变化提供无损、微区和深穿透的检测,是应用于肿瘤细胞和组织的早期筛查、病变分级的理想工具。
推荐设备:拉曼光谱仪
微塑料的定量分析
应用领域:微塑料
微塑料拉曼分析仪,基于对纳米塑料及微塑料的定性及定量检测,能为研究微/纳米塑料的产生机制、环境影响、人体监控影响等,提供有效手段。
推荐设备:微塑料拉曼分析仪
高压条件下的多模态光谱表征
应用领域:极端环境
高压原位多模态光电表征系统为研究材料的高压科学,探索新现象提供全面的光谱表征方案。
推荐设备:高压原位多模态光电表征系统
复享光学-PG2000-Pro在钙钛矿纳米激光器表征中的应用
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