方案摘要
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高纯气体分析系统适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测,仪器配备原装进口高灵敏的氦离子化(PDHID)检测器;采用四阀五柱的多维色谱分析系统,进样阀采用带吹扫保护气路的六通或十通阀,连同原装进口的氦气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整的高纯气体分析整体解决方案。很好的完成了气体中微量杂质,特别是ppb级的杂质的分析。为国内最专业的高纯气体分析系统.
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