氧化硅材料的粒度测量

2014/06/20   下载量： 4 次

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应用领域 材料
检测样本 半导体材料
检测项目
参考标准 无

氧化硅是一种常用的矿物材料，从研磨剂到填料以至作为提高物性用的添加 剂，它有一个广泛的使用范围。 高纯度要求的打磨剂如 CMP 需要次微米级颗粒，通常使用沉淀法或发烟法加 工。最常用的或大颗粒的氧化硅，是把天然原料如砂石或石英进行分类，研磨后再加工的。

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配置单
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文献贡献者

天津东方科捷科技有限公司
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