热式质量流量计,控制器
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参考价:面议
型号: MFC- F-260
产地: 荷兰
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产品详情
 目前改进型MFC F 260的特点:
 
Ø  针对传统的MFC260版本对弹性密封件和可靠的热阀进行了改进;
Ø  兼容其他的MFC产品
Ø  经济性设计,简单的结构
Ø  来自各行各业的优良反应
Ø  可对外输出标准读数
 
F260流量范围 (等效于N2):  from 20 sccm to 5 slm
控制范围: between 2 and 100% F.S.
阀门类型: Thermal
阀门初始位置: 常开  Normally Open only
精度: +/- 1% of F.S.
线性 +/- 0.5% of F.S
重复精度 +/- 0.3% of F.S.
相应时间:  <= 6 sec. typical (SEMI E17-91)
适用温度范围:  between 5 and 40°C
温度补偿系数  < 0.1% F.S. /°C
最大内部压力:  10 bar
最小压差: 0.5 bar (0.7 bar with H2)
最大压差:  3 bar
压力补偿系数 < 0.1% F.S./bar
材质:  316 L Stainless steel
泄漏率 < 2.10-9 scc/sec (He)
密封 standard Viton, option Neoprene or kalrez
 
配件接口:   ¼ VCR – ¼ VCO – ¼ Swagelok

 
上海谱展仪器科技有限公司为您提供热式质量流量计,控制器MFC- F-260,nullMFC- F-260产地为荷兰,属于气体流量计,除了热式质量流量计,控制器的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多气体流量计,P Z Technologies客服电话400-860-5168转2439,售前、售后均可联系。

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