主动隔振台在电子显微镜中应用

2016-07-26 18:11  下载量:11

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Herzan的AVI系列能使隔震频率实现最大的分辨率。 在所有的六个维度,AVI系列可以实现亚赫兹的隔震性能。在2Hz下可衰减90%的震动,在5Hz可衰减99%,在10Hz可衰减99.8%

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