外部振动对电子显微镜的影响及处理

2017-01-17 11:20  下载量:4

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各个电镜厂家,如中国的科仪(KYKY)、美国的 FEI(无中文翻译)、德国的蔡司(Zeiss)以及日本的日本电子(Jeol)、日立(Hitachi)、岛津(Shimadzu)等,对于自己不同系列、不同型号的产品都分别设有不同的振动标 准。需要说明的是,一般的振动超标只是影响电镜实验(特别是高倍数实验)的结果,除非是极为强烈的振动(例如强烈地震等),超过标准的震动一般不会对电镜本身造成设备损坏。 如果测试结果表明准备安装电镜的场所振动超标,则必须采取适当措施,否则电镜厂家不能保证电镜安装后的性能可以达到最佳设计标准。一般可以选择混凝土减震台(Anti-Vibration Foundation)、被动式减震器(Passive-Vibration Isolation Platform)、主动式减震器(Active-Vibration Isolation Platform)等几种方法来改善或解 决。 混凝土减震台需要现场施工,且必须采取特殊方法(底部和周围有弹性软垫层 等),一般的土建施工方法有可能反而增加低频(20Hz 以下)振动。施工中有大 量土建材料进出难免影响周围环境。混凝土减震台的示意图见。 混凝土减震台的质量越大减振性越好,经多次实测,小于 10 吨的减震台在 1~ 10Hz 低频段内有谐振,反而增大了振动。 在被动式减震器中,一般常用的橡胶、钢弹簧、空气弹簧(汽缸)等方式的减 震器因为它们在 20Hz 以下的低频段效果很差,甚至往往由于谐振反而加大了振动, 所以不考虑采用。只有磁力减震器(国产专利产品)的低频效果较好。图四是几种 减震方式的效果比较。

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