德国欧库睿因（Accurion）成像椭圆偏振仪常见问题解答

德国欧库睿因（Accurion）成像椭偏技术常见问题解答 1）成像椭圆偏振仪和传统椭圆偏振仪有什么区别 椭圆偏振是一项精确测量薄膜厚度，折射率等参数的技术，与传统椭圆偏振仪相比，成像椭圆偏振有以下特点： 成像可以让你看到样品 通过CCD相机你可以直接看到样品图片，这样的图片也可以展示椭偏对比度，让你分析样品的均匀性，对于非常薄的膜，只有椭圆偏振对比图可以成像，常规光学显微镜无法做到这一点。 精确定位的测量 你可以看到你的样品，所以你可以精确定位你想要测量的感兴趣点区域。即使样品需要成像，你也可以确保你在均一的地方测量。传统椭圆偏振仪给出的是一个平均数字。成像椭圆偏振给出的不是平均数字，而是实际数字。 更多的，你可以测量线装样品。我们的客户已经成功地在玻璃纤维和人的头发上做了测量。 高横向分辨率 Accurion成像椭圆偏振仪最高横向分辨率可以到1微米，其他传统椭圆偏振仪只有100-500微米，部分仪器可以达到50微米。 正是由于这个原因，我们的系统是测量表面结构，小面积薄膜，或者分析薄膜不均一性的理想仪器。 当然，成像椭圆偏振仪提供的纵向分辨率，根据不同的样品，可以高于1nm. 快速测量 使用Accurion的EP3-View软件，Ep3可以测量厚度分布度，当然包括折射率分布图，这种分布图包含整个可视范围。这种图片类似于原子力显微镜的图片。不需要扫描整个样品，整个过程在小于一分钟内完成。 使用成像椭圆偏振仪，你将有一种快速有效的技术在高分辨率测量微结构或者薄膜不均一性。因此，使用成像椭圆偏振仪EP3你能够确保得到你想要的相关数据。