型号: | CX-200TA |
产地: | 韩国 |
品牌: | 库赛姆 |
评分: |
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产品简介
CX-200TA扫描电子显微镜大型样品室,分析型物镜,可同时接配EDS/WDS/EBSD,在观察精细形貌同时,做化学成分和晶体结构定性定量分析。五轴马达驱动样品台,高速涡轮分子泵真空系统,全部由酷塞目[COXEM]NanoStation计算机导航自动操作,轻松自如。
CX-200TA扫描电镜标配SE探测器,观察表面精细形貌形态;可选配BSE探测器,观察材料成分反差像,同时可扩展低真空观察模式,非导电样品可直接观察;可选配全套的X射线微区分析附件(EDS、WDS,EBSD)原位实现化学成分定性定量,及微区晶体结构定性定量分析; 可选配+CCD样品室监控附件。
五轴马达驱动样品台,高低真空配置,全自动控制。
主要特点:
--锥形物镜,长焦性能优越。
--中大型样品室分析型物镜,可同时接配多种探测器,有较强分析拓展能力;
--五轴自动样品台,PC导航控制,步进电机驱动精度19nm/步,Point & Go操作,坐标定位系统,
--涡轮分子泵真空系统高效清洁节能,
--全数字化高度集成的电器控制系统,结构紧凑,稳定可靠,与计算机通讯采用高速USB接口。
--最高支持5120 x 3840像素的图像采集能力,体现优良的数字化控制扫描系统对电子束的控制精度
--全自动控制能力,一键成像,自动灯丝饱和,自动聚焦,自动消象散,自动亮度对比度控制,自动电子束对 中,自动偏压,物镜光阑自动摇摆对中合轴。
--NanoStation操作软件,多种快捷按钮,简单方便,同时允许用户自定义热键,允许更高效的操作;
图像灰度直方图实时显示,自动调整亮度对比度。
--强大的图像编辑处理能力
技术指标:
分辨率:3.0nm@30kV,10nm@3KV, SE image
4.0nm@30kV,BSE image (option)
放大倍数:10x~300,000x
加速电压 0.5kV~30kV
电子枪:三级自给偏压,偏压电阻可自动/手动调节,预对中发叉式钨丝阴极
探测器:E-T型 SE-detecor
高灵敏四分割半导体 Bse-Detector (option)
透镜系统:2个聚光镜,1个物镜
物镜光阑:4孔可变光阑,摇摆对中合轴
图像电位移和电旋转:±50um(WD:5㎜);0-360°
样品室:内径φ210mm,可接配EDS,BSE,WDS EBSD等分析附件.
样品台及行程:五轴计算机导航马达驱动样品台
X:65㎜,Y:40㎜,Z:5~65㎜,T:-20~+90°;,R:360°
最大样品尺寸:160mm(直径)X 71mm(高度)
操作系统:PC机控制,Windows7,21.5英寸彩显,GUI操作软件嵌入多种图像实时分析测量工具,鼠标键盘操作
自动功能:自动聚焦,自动亮度对比度,自动消象散,自动饱和,自动对中。
视频分辨率及帧频:选区模式:320 x 240像素 30帧/秒
TV 模式:640 x 480像素 10帧/秒
慢扫描模式:800 x 600像素(3档速度)
扫描模式:1200 x 600像素(SE BSE 双信号)
照相模式:1280 x 960,2560 x 1920,5120 x 3840像素
示波器模式
图像格式 JPG,TIFF,BMP
语言英语
真空系统:带安全防护的自动高真空系统,涡轮分子泵260升/秒+旋片式机械泵100L/min
真空度实时显示。
高真空:样品室处真空度优于7.5x10-5 Torr,
低真空:样品室 1-270Pa (option)
总功率:2KW
外形尺寸和重量:
主机:77(W)x88(D)x150(H)㎝,350㎏
电脑桌:任意
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