型号: | EM-20 |
产地: | 韩国 |
品牌: | |
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产品简介
EM-20是一款高分辨率台式扫描电镜,标配SE探测器,观察微观区域精细表面形貌,同时可选配BSE和EDS,表征微区成分信息,可扩展低真空观察模式,非导电样品直接用Bse探测器观察,免制备导电膜层。
接配EDS 四通道BSE探测器
EM-20扫描电子显微镜使用当前最先进的电子光学设计,自动控制技术,二次电子分辨率达到7nm@20KV,
高分辨率 大景深,精细表面形貌 标配测量工具
EM-20扫描电镜标准配置两轴马达驱动样品台,高速涡轮分子泵真空系统,电子光学系统调节,全部由酷塞目[COXEM]NanoStation计算机导航自动操作。除了自动功能以外,EM-20扫描电镜还提供给更加专业的用户所有手动调节功能,使得EM-20几乎具备大型机所有的调节功能,从而获得更加专业的图像品质。有别于其他“傻瓜”型台式扫描电镜,EM-20是一台“单反”型产品。
NanoStation操作软件
技术特点:
*自动高亮度电子枪,全数字化高压电源,0.5KV~20KV范围内随意调节;
*聚光镜精细控制 Spot size设置10档调节;
*圆锥形物镜,具有更高分辨性能;
*四孔可变光阑,分别用于高分辨观察和不同的分析目的。
*实时灰度直方图,自动亮度对比度;
*X Y 两轴自动样品台
*可选Bse探测器、低真空功能和能谱仪。
*酷塞目NanoStation操作软件,内含丰富的图像编辑处理功
技术性能:
分辨率 : 7.0nm @20KV SE image
15nm@20KV Bse image(option)
放大倍数 : x20 ~ x80,000
探测器: E-T型二次电子探测器
高灵敏四分割半导体背散射电子探测器 (option)
加速电压 : 0.5-20KV
电子枪 : 钨丝阴极, 预对中灯丝
磁透镜系统 :聚光镜+物镜
物镜光阑 : 4位可移动,自动摇摆对中
图像电位移,电旋转: +/-50um WD=5mm,R ±360°
样品室:SE探测器,EDS探测器,Bse探测器等六个接口
样品台:XY两轴马达驱动样品台
行程:X (35mm), Y (35mm), 手动Z (5 ~ 50mm)
样品尺寸(最大) : 直径70mm 高度45mm
扫描模式
- 选区 (320 x 240 pixel) 最快30帧/秒
- TV全屏扫描模式:(640 x 480pixel) 最快10帧/秒
- 三档全屏慢扫描模式 (800 x 600 pixel)
- 照相模式:1280 x 960,2560 x 1920,5120 x 3840pixel
-示波器扫描模式
图像格式 : JPG, TIFF, BMP
图像显示器: 21.5"
自动控制功能:
- 自动电子枪饱,一键成像
- 电子枪对中
- 电子枪偏压
- 亮度对比度
- 聚焦
工作距离 : 4 ~50mm
真空系统 : 全自动 (真空时间: 小于2分钟)
- 前级真空: 旋片式机械泵
- 高真空 : 涡轮分子泵
- 低真空模式:样品仓1-100pa (option)
控制系统 : USB通讯接口计算机控制, 戴尔i5CPU品牌机.
操作系统 : Windows 7
图像处理分析软件 :
- 图像标注编辑存储
- 长度、角度,面积测量
- 实时图像灰度直方图显示
主机尺寸:400Wx600Lx550H mm
主机重量:80kg
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