DESK-V小型离子溅射仪

驰奔仪器，DESK-V型小型离子溅射仪，是一款高级低真空磁控溅射镀膜装置，广泛用于钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜样品制备或电极镀膜实验。采用专利的阳极保护栅网，实现镀膜过程中样品表面保持常温状态，是没有热损伤的冷溅射平台。该溅射仪具有等离子清洗刻蚀功能。也可选配碳蒸发附件。

主要功能：

1、精细磁控溅射镀膜 

2、样品等离子刻蚀清洗

3、蒸碳镀膜

主要特点：

1、大的溅射样品室，获得更稳定的真空环境，镀膜质量更高。

2、对样品无热损伤的冷溅射。

3、样品等离子刻蚀功能，一个手动控制挡板降低样片在刻蚀过程中受到的污染。

4、基于PLC的强大控制系统，全部触摸屏操作，可手动、半自动控制、全自动控制。

5、具有高压真空互锁安全机制

6、标准的操作软件，实时监控各部件状态，方便技术支持，节约用户费用。

性能指标：