| 型号： | Hyper QV WLI363系列 |
| 产地： | 日本 |
| 品牌： | 三丰 |
| 评分： |
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• 1台设备即可实现坐标，尺寸和3D形状的非接触测量。
• 配有白光干涉仪的高精度、双镜头影像测量机。
• 白光干涉仪利用高纵横比对形状进行准确测量。
• 标准影像测量功能能够连续不间断地进行坐标、尺寸和3D形状测量。
• 大工作台能准确地处理大尺寸工件，如印制电路板。
规格
| 名称 | Hyper QV WLI 302 | Hyper QV WLI 404 | Hyper QV WLI 606 | |
| 测量范围 (X×Y×Z) | 影像测量区域 | 300×200×190 mm | 400×400×240mm | 600×650×220mm |
| WLI测量区域*1 | 215×200×190 mm | 315×400×240mm | 515×650×220mm | |
| WLI光学测头装置 | ||||
| 视场 (H×V) | 5X镜头: 约0.64 × 0.48 mm / 10X镜头: 约0.32×0.24mm / 25X镜头: 约0.13×0.10mm | |||
| 重复精度 | 2σ ≤ 0.08μm | |||
| 影像光学测头装置 | ||||
| 倍率装置 | 可编程电动转台1X -2X -6X | |||
| 影像装置 | 黑白 CCD (1/2型) | |||
| 测量精度*2 | E1 X, E1Y轴 | (0.8+2L/1000)μm | ||
| E1 Z轴 | (1.5+2L/1000)μm | |||
| E2 XY平面( | (1.4+3L/1000)μm | |||
*1: WLI光学镜头的可动范围。 *2: 依据三丰公司的检查方法，L为任意2点间的尺寸(mm)。
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