型号: | CV-3200系列 |
产地: | 日本 |
品牌: | 三丰 |
评分: |
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完善的高精度轮廓测量仪
● CV-3200系列是在Z1轴(检出器)上配有高精度弧形光栅尺和新型测臂的轮廓测量仪。高精度弧形光栅尺能直接读取测针的弧形轨迹,以实现高精度和高分辨力。与传统型号相比,新测臂使Z1轴测量范围增大了10mm同时减少了工件的干扰。测臂安装部采用了磁性链接件,单此接触就能完成测臂的装卸,提高了易用性。
货号 | CV-3200S4 | CV-3200H4 | CV-3200W41 CV-3200L4 | CV-3200S8 | CV-3200H8 | CV-3200W81 CV-3200L8 | ||
测量 范围 | X轴 | 100mm | 200mm | |
Z1轴(检出器) | 60mm (水平位置±30mm) | |||
Z2轴(立柱)移动范围 | 300mm | 500mm 700mm | 300mm 500mm | 700mm | ||
精度 (20°C) | X轴 | ±(0.8+0.01 L)pm L=驱动长度(mm) 宽范围:1.8pm/100mm 窄范围:1.05um/25mm | ±(0.8+0.02L)pm L=驱动长度(mm) 宽范围:4.8卩m/200mm 窄范围:1.3um/25mm | |
Z1轴(检出器) | ±(1.4+l2H|/100)um H=水平位置上的测量高度(mm) |
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