通过激光直写技术制造光子设备：SEM如何作出贡献

2017-11-14 12:59 下载量：1

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光子设备被广泛应用于自然科学中，用于制造，操作和探测光。在未来，制造先进的光子设备将是一种挑战，并需要灵活性和可调谐性。因为它们需要先进的三维光刻技术，制造这些设备并非易事。激光直写技术（DLW）是一种有趣的方式，它的目标是运用液态晶体光刻胶作为感光材料。在这篇文章中，我们将描述用于生产人造橡胶光学可调谐光子设备的光刻胶是如何进行特殊设计和测试的，以及如何用扫描电子显微镜(SEM)来帮助设计改进过程。

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文献贡献者

复纳科学仪器（上海）有限公司

白金会员 | 第12年

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