扫描电镜之EDX能谱分析的介绍

2017-12-05 16:48 下载量：17

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扫描电子显微镜（SEM）利用电子束从纳米尺度的样品中获取信息。所检测到的主要信号类型是背散射电子（BSE）和二次电子（SE），它们在高倍率下生成样品的灰度图像。然而，还有许多其他的电子与样品表面物质相互作用的产物——这些信号可以提供关于样品的额外信息。在这篇博客中，我们将阐述扫描电镜中的能谱（EDX）是如何工作的。

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文献贡献者

复纳科学仪器（上海）有限公司

白金会员 | 第12年

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