扫描电镜工作原理：背散射电子的检测

2018-07-12 16:01 下载量：17

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背散射电子（BSE）是由入射电子束与原子核的弹性散射或非弹性散射所产生的高能电子。背散射电子（BSE）的产率，即出射的背散射电子（BSE）数与入射电子数之比，取决于样品平均原子序数：平均原子序数越高，或元素越重，衬度就越亮。在飞纳台式扫描电镜中，背散射电子是通过放置在样品上方的四分割半导体探测器检测到的。在这篇博客中，将解释什么是半导体探测器，以及如何在扫描电子显微镜下检测背散射电子。

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文献贡献者

复纳科学仪器（上海）有限公司

白金会员 | 第11年

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