电磁透镜和像差：哪些因素会影响扫描电镜的分辨率?

2018-09-25 13:31 下载量：10

资料摘要

资料下载

分辨率是扫描电镜（SEM）最重要的参数之一。分辨率越好，可以看到的特征尺寸越小。分辨率的好坏往往取决于聚焦在样品上的电子束斑的直径（即束斑尺寸）。在非理想电子光学系统中，束斑尺寸会因像差而变大。什么是电子光学系统中的像差？它们如何影响束斑尺寸？在这篇博客中，将回答这些问题并进行深入的分析。

资料下载

文献贡献者

复纳科学仪器（上海）有限公司

白金会员 | 第11年

查看全部资料

相关资料更多

显微CT技术在各类零部件缺陷检测中的应用

简介：X 射线检测技术不受检测材料种类的影响，对材料中大部分缺陷，如疏松、夹杂、脱粘等均有较高的检测灵敏度。但传统工业 CT 的空间分辨率受到射线焦点、探测器和重构矩阵分辨率的限制，分辨率有限，无法分辨直径为数微米的特征。但近些年随着科技进步，逐渐发展起来的显微 CT 则可以弥补这一缺陷。
显微CT技术在地质领域中的应用

简介：显微 CT 技术是一项通过利用 X 射线对微观样品进行高分辨率成像的先进技术，是研究和解决地质学问题的重要工具，在地质行业发挥着不可或缺的作用。本文将介绍显微 CT 技术的基本原理、发展历程以及其在地质行业的特殊应用。
显微CT技术在考古中的应用

简介：显微 CT 技术通过高精度的 X 射线无损检测技术，能够在不破坏文物的前提下，清晰、准确、直观地展示文物内部的结构组成以及可能存在的缺陷和损伤情况。该技术为考古学家和文物保护专家提供了一种全新的研究手段，使得对文物的分析和保护工作更加科学和精确。
显微CT技术在药物制剂研究中的应用

简介：药物制剂结构表征常用的技术有光学显微镜、电子显微镜等技术工具，但这些技术手段仅能给出制剂的表面特征，无法有效地表征其内部特征。X 射线具有波长短、分辨率高和穿透力强等特点，能够实现对样品内部结构进行成像，曝光时间短、效率高，可用于观察分析多种微观物理、化学变化以及微纳米结构，在生物医学、材料科学上有着广泛的应用。
显微CT技术在牙科研究中的应用

简介：显微 CT 技术在牙科领域的应用领域涵盖了组织工程、用于有限元分析的真实数据识别、确定牙齿中的矿物质浓度，以及人类学研究中牙釉质厚度、颅面骨结构和发育的测量，同时也应用于牙髓研究，用于评估种植体和周围骨(见下图)。显微 CT 为牙髓研究提供了巨大便利，尤其是在识别牙根管形态、检查根管准备情况、评估填充物，并能在治疗后进行检查方面发挥着重要作用。