当台式电镜遇见肖特基场发射电子源

2019-03-07 17:51 下载量：11

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在 2018 年之前，为何没有看到使用肖特基场发射电子源（FEG）的台式扫描电子显微镜（SEM）呢？为何在台式扫描电镜（SEM）中使用场发射电子源（FEG）是十分高效的呢？

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复纳科学仪器（上海）有限公司

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