大块放气样品测试就是这么简单

2019-12-13 14:44 下载量：0

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为了保证扫描电镜的电子光学系统能正常、稳定地工作，电子枪和镜筒内部都需要有很高的真空度。真空度越高，越能减少对入射电子的散射，并能延长电子枪阴极的寿命，还会降低高压电极间的放电、打火和对电子束通道的污染。目前，电镜真空系统最佳的搭配是采用干泵（无油机械泵与涡轮分子泵的组合）来抽真空，这种搭配可以大大降低真空系统中的残余气体和反流的油蒸气形成的碳氢聚合物对试样表面的污染。

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文献贡献者

复纳科学仪器（上海）有限公司

白金会员 | 第11年

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