扫描电镜下的多层压电陶瓷材料分析

2021-01-13 17:01  下载量:9

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多层压电陶瓷器件品质要求较高,其内部多层结构需要使用扫描电镜(SEM)观察,例如每一层陶瓷是否有缺陷,多层陶瓷的厚度是否均匀,作为电极的银层是否覆盖均匀,这些结构影响着器件的使用寿命。

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