其他null检测 | 背散射电子的应用——通道衬度成像-复纳科学仪器（上海）有限公司

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应用领域	其他
检测样本	其他
检测项目
参考标准	扫描电镜，台式电镜，台式扫描电镜，桌面扫描电镜，场发射电镜

扫描电镜成像主要是利用样品表面的微区特征，如形貌、原子序数、晶体结构或位向等差异，在电子束作用下产生不同强度的物理信号，使荧光屏上不同的区域呈现出不同的亮度，从而获得具有一定衬度的图像。

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扫描电镜成像主要是利用样品表面的微区特征，如形貌、原子序数、晶体结构或位向等差异，在电子束作用下产生不同强度的物理信号，使荧光屏上不同的区域呈现出不同的亮度，从而获得具有一定衬度的图像。

当电子束和试样表层发生作用时，会产生大量的背散射电子，这些背散射电子衬度包含三种信息：

样品表层形貌信息，凸起、尖锐和倾斜面的背散射电子多，探头接收到的信号强，图像较亮，即形貌衬度(topography contrast)；
原子序数信息，原子序数越大，背散射电子越多，探头接收到的信号越强，反映在图像上就越亮，即原子序数衬度成像(Z-contrast)；
晶体取向信息，背散射电子的强度取决于入射电子束与晶面的相对取向。晶体取向和入射电子束方向的改变均可导致BSE强度的改变(Electron channeling contrast，简称ECC，由此得到的衬度像简称ECCI)。

这篇文章主要讲ECCI 的原理及应用。

文献贡献者

复纳科学仪器（上海）有限公司

白金会员丨第12年

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