如何通过扫描电镜能谱分析，给出可信的成分分析结果？

2019/06/12   下载量： 4 次

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应用领域 钢铁/金属
检测样本 其他
检测项目 含量分析>铬元素, 铝元素, 镁元素, 铁元素
参考标准 无

能谱（EDS）结合扫描电镜使用，能进行材料微区元素种类与含量的分析。其工作原理是：各种元素具有自己的 X 射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量 E，能谱仪就是利用不同元素 X 射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。

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一、能谱定量不准确的原因

能谱（EDS）结合扫描电镜使用，能进行材料微区元素种类与含量的分析。其工作原理是：各种元素具有自己的X 射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量E，能谱仪就是利用不同元素X 射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。


能谱定量分析的准确性与样品的制样过程，样品的导电性，元素的含量以及元素的原子序数有关。因此，在定量分析的过程中既有一些原理上的误差（数据库及标准），我们无法消除，也有一些人为因素产生的误差（操作方法），这些因素都会导致能谱定量不准确。


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