| 型号： | IUV-25CP-1 |
| 产地： | 日本 |
| 品牌： | 日本分光计器 |
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光刻胶检测系统,光刻胶测试系统
用于检测光刻胶的光谱灵敏度(波长特性)。
这是一种光谱系统，它将连续的光(大约240纳米宽)照射到一种光敏材料上，例如光阻剂。标准配置两种光源。一种是能照射强线谱光的深紫外光灯，另一种是能照射连续谱光的氙灯。
规格
波长范围:波长波段一次照射约240nm
辐照有:高度方向:89mm(5-13步)
波长方向80mm(约240nm)
辐照时间:0.01-1200s
辐照步骤:1-13步
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