资料摘要
资料下载摘要 利用電鍍法來進行IC 積體電路銅導線是現今主要製程方法,具有成本低廉、 高沉積速率與鍍膜品質佳等優點,唯填洞能力較差。本研究著眼於利用超音波照 射時發生的空洞現象所產生的噴射流、衝擊波和水錘等效應,再配合添加劑使用 之條件下實施電鍍銅程序,來達到鍍膜平整且擁有超填塞之效果。第一階段量測 電位-電流曲線與鍍膜物性來檢討超音波照射下電鍍銅之最佳化條件,爾後以所檢 討之最佳化條件在矽晶片上實施電鍍銅,以SEM、XRD、AFM 與四點探針等測量, 來檢討超音波照射下鍍膜平整性與填洞能力外,並測量鍍膜之物性與電性。 超音波照射時由於激烈噴射流效應會增加極限電流密度且隨著超音波輸出密 度增加而上升,但超音波輸出密度小於30 W/cm2 以下時,極限電流密度並無明顯 的改變。超音波照射時較無超音波照射平整細緻其鍍膜表面粗糙度較小,且隨著 輸出密度增加而表面粗糙度相對變小,這是由於超音波照射時所產生的衝擊波與 水錘現象所造成。另一方面,鍍膜表面粗糙度亦會隨著PEG 添加劑的分子量增加 而下降。在二種異質添加劑條件中,鍍膜表面粗糙度隨著JGB 添加量增加相對下 降,且比添加單一種添加劑條件下有更小之表面粗糙度。超音波照射時並不會明 顯影響鍍膜之導電性質,無論有無超音波照射時,皆可得到電阻係數很低的鍍膜, 另一方面,鍍膜電阻則會隨著添加劑加入而有略微增加的趨勢。在只添加單一種 PEG 或JGB 條件下,配合超音波照射比無超音波照射時溝渠內孔洞呈現縮小傾向 但仍無法填滿,但若同時添加300 mg/L PEG 6000 與1mg/L JGB,再配合輸出密度 180W/cm2 超音波照射時,就可得到平整且溝渠內無孔洞的超填塞效應之鍍膜。
超声波清洗器
简介:1,可以数字定时,定时范围: 1min-99min 2,清洗槽材料304不锈钢 3,超声频率范围35-40kHz 4,可加热超声波温度设置范围: 20℃-69℃
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Titan/泰坦数字型加热磁力搅拌器HMS-14说明书
简介:加热磁力搅拌器HMS-14搅拌器,包含操作注意事项,使用环境,操作方法,技术参数,和售后维修。如需模式程序设定,可参考设定部分。
C-mag HS7 digital配件及说明书
简介: IKA?生产的磁力搅拌器是世界上最畅销的磁力搅拌器产品之一。IKA磁力搅拌器拥有一套非常全面的产品系列,其中分为加热与非加热功能的两大类型。 无论是密封还是非密封容器内的作业,IKA磁力搅拌器都可以完全胜任甚至是非常复杂的作业工作。例如通过与接触式温度计的配合,IKA磁力搅拌器可以非常准备和效率对温度进行控制。同时磁力搅拌器能够同时对最多36个容器进行操作。与同类产品相比IKA磁力搅拌器要节约20%的电量,同时IKA磁力搅拌器的设计可以在多种环境下作业并且更节能。功能性,安全性,耐久性是IKA磁力搅拌器的产品保障。
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