AGC 600DID氦离子气相色谱仪负压进样高纯砷烷、磷烷分析

2016-10-09 11:13  下载量:18

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本文主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法,一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiH4、AsH3。并验证方法的可行性。

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