AGC 600DID氦离子气相色谱仪负压进样高纯砷烷、磷烷分析

2016/10/09   下载量： 26 次

方案摘要

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应用领域 材料
检测样本 半导体材料
检测项目
参考标准 高纯磷烷

本文主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法，一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiH4、AsH3。并验证方法的可行性。

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本文主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法，一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiH4、AsH3。并验证方法的可行性。



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爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处
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