资料摘要
资料下载涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。其使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，同时将维护需求降至最低。
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