型号: | MIRA 3 XMH/XMU LMH/ LMU GMH/GMU |
产地: | 捷克 |
品牌: | 泰思肯 |
评分: |
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1.高亮度肖特基发射可获得高分辨率,高电流和低噪音图片。独有的三透镜大视野观察(Wide Field Optics™)设计,该设计提供了多种工作模式和显示模式,体现了Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计。
2.结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪(In-Flight Beam Tracing™)可模拟和进行束斑优化。
3.成像速度快。
4.高吞吐量/自动取域。例:自动颗粒定点分析。
5.出众的电动载台设计,支持能谱仪(EDX),波谱仪(WDX),背散射电子衍射仪(EBSD)。
6.由于使用了强力的涡沦分子泵和无油干式机械泵,因而可以快速简单得到干净的真空样品室。电子枪由离子泵抽真空。
7.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。
8.成熟的控制软件,图片获取,存档,处理和分析功能。
9.网络操作和内置的远程控制/诊断是Tescan的标准配置。
10.15种强大的自动功能。
11.完全自动的软件安装.
12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;
I.显示尺寸:4种实时影像显示尺,最大可至1024x1024;9种图像存储尺寸,最大可至8192x8192。同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形3种尺寸,也可同时显示任意张实时影像或储存图像。
II.扫描速度:从20ns/图素到10ms/图素,可阶级式或连续式的调整。
III.聚焦窗口:可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。
IV.动态聚焦,点&线扫描
V. 图像处理(Image processing):提供15种图像处理功能。
VI.量测功能:提供13种量测的功能
VII.图像存盘:
1).浏览已储存影像的相本。
2).找寻已储存影像的数据库系统。
3).报告产生及从程序中直接打印。
4).实时或储存的影像均可处理。
13.卓越的分析品质;
1)选择目标区域:以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。
2)3D扫描:可通过各探头的配合,显示真实的三维图象。
3)硬度分析:以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。
4)多图片校正:可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。
5)打印放大倍数:调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。
6)关机时间设定:可以设定第一次自动关机时间。
7)公差
可选配软件
8)形态学:该软件可对样品图片进行自动分析,测量和分类。其图片来源可以是显微镜,数码相机等。
9)颗粒度分析:可以对多区域内的样品进行自动测量,分析和分类(不过分析样品必须在扫描窗口内)。该软件结合形态学软件使用,功能更加完善。
10)自动连续截图
11)样品观测
12)鼠标连接:安装该软件后,可以用电子显微镜的鼠标控制其他连接设备的鼠标进行操作。
U型为高低可变真空,H型为高真空电镜
LM型为大样品室,XM为超大样品室,GM为超级样品室
分辨率 高真空(二次电子) 低真空(背散射电子) (低真空二次电子) |
1.0nm(30kV),1.2nm(15kV),2.0nm(3kV) 2.0nm(30kV) 1.5nm(30kV), 3nm(3kV) |
工作真空 低真空模式 枪体真空 |
7-500Pa <3×10-7Pa |
电子光学工作模式 | 分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样 |
放大倍率 | 1×-1000000×连续可调 |
加速电压 | 200V至30kV(选配50V至30kV) |
电子枪 | 高亮度肖特基 |
探针电流 | 2pA至200nA |
扫描速度 | 从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续可调 |
聚焦窗口 | 大小和位置连续可调 |
扫描特性 | 动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像 |
图象尺寸 | 最大可达8192×8192象素,图像比例可选1:1、4:3或2:1 |
显微镜控制 | 能过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作Mira TC软件,所以显微镜的功能均可 在WindowsTM平台下实现。 |
自动程序 | 独有的实时电子束追踪(In-Flight Beam TracingTM)技术可持续调节探针电流和束斑直径,真空控制,电子枪合轴,光阑&透镜对中,加速电压改变的补偿,最优化束斑大小和探针电流,最优化放大倍率和束斑大小,扫描速度,高度和对比度,聚焦和消像散,灰度等级调整。 |
远程控制 | TCP/IP |
Parameters | LM | XM | GM |
Number of ports | 11+ | 12+ | 13+ |
Movements |
X = 80 mm (-40 mm to +40 mm) Y = 60 mm (-30 mm to +30 mm) Z = 47 mm |
X = 130 mm (-50 mm to +80 mm) Y = 130 mm (-65 mm to +65 mm) Z = 100 mm |
X = 130 mm (-65 mm to +65 mm) Y = 130 mm (-65 mm to +65 mm) Z = 100 mm |
Rotation | 360° continuous | 360° continuous | 360° continuous |
Tilt (WD and sample size dependent) |
- 80° to + 80° | - 30° to + 90° | - 80° to + 90° |
Max. specimen height |
60 mm (with rotation stage) 81 mm ( without rotation stage) |
116 mm (with rotation stage) 145 mm (without rotation stage) |
116 mm (with rotation stage) 145 mm ( without rotation stage) |
国内首家使用中文操作界面的电镜厂商
1.电磁式电子枪自动对中;
2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;广角模式;鱼眼模式,很方便寻找样品位置;倾斜电子束模式
3.独创的低真空二次电子探测器(LVSTD).
4.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品;
5.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵,电子枪部分使用离子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却.
6.采用气垫减震系统
7.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能.
8.11个以上外扩展接口.
9.可进行远程控制
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