优选

白光干涉测厚仪Delta-NIR

参考价：¥20万 - 50万

型号：	Delta-NIR
产地：	广东
品牌：	贝拓科学
评分：

核心参数

产地类别：国产

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Delta-DUV反射式膜厚测试仪

贝拓科学在线测厚仪Delta-VIS

X射线荧光光谱仪 THOR-X

产品详情

仪器介绍

Delta薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。TF200根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。

产品特点

快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

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应用案例

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应用领域

半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)

LED (SiO2、光刻胶ITO等）

触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等)

汽车(防雾层、Hard Coating DLC等）

医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等）

技术参数

型号	Delta-VIS	Delta-DUV	Delta-NIR
波长范围	380-1050nm	190-1100nm	900-1700nm
厚度范围	50nm-40um	1nm-30um	10um-3mm
准确度¹	2nm	1nm	10nm
精度	0.2nm	0.2nm	3nm
入射角	90°	90°	90°
样品材料	透明或半透明	透明或半透明	透明或半透明
测量模式	反射/透射	反射/透射	反射/透射
光斑尺寸²	2mm	2mm	2mm
是否能在线	是	是	是
扫描选择	XY可选	XY可选	XY可选

注：1.取决于材料0.4%或2nm之间取较大者。

2.可选微光斑附件。

广州贝拓科学技术有限公司为您提供贝拓科学白光干涉测厚仪Delta-NIR，贝拓科学Delta-NIR产地为广东，属于国产在线测厚仪，除了白光干涉测厚仪Delta-NIR的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供TF200光学膜厚仪、接触角测量仪DSA-X、OtO 台湾超微光学光纤光谱仪--智能引擎2号,贝拓科学客服电话400-668-1210，售前、售后均可联系。

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