AST 等离子体表面处理仪

AST 等离子体表面处理仪

参考价:面议
型号: QIYI100
产地: 美国
品牌: AST
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产品详情

商品描述:

应用领域 
  1. 电子产品:PCB板、柔性电路板、平板显示器、感光树脂的剥离
  2. 医药方面:生物材料表面处理、杀菌、组织培养等
  3. 工业方面:高分子膜表面改性、终端安装清洗等

主要特点
 
  1. 专利化能量分布设计,美国专利号:4,887,005 / 5,190,803 / 5,228,963 / 5,48,560 / 5,733,511
  2. 采用微处理器控制
  3. 适合各种等离子体的处理,如清洗、表面改性和刻蚀等
  4. 气体流速精确控制和混合
  5. 射频自动匹配功能
  6. 高密封的真空系统

主要型号: 

  1. 间歇式系统:PJ、PS-350/500
  2. 客户专用型系统:PS-750/2020/ 3030
  3. 大批量系统和滚筒式系统




技术参数
 
型号PJ电源要求  115/220V, 15A 射频功率  300W,13.56MHz 射频匹配  自动匹配  控制方式  基于WindowTM的PC控制  仪器尺寸  60×60×30cm,35 Kg 样品室  20cm直径,25cm长 耐高温玻璃,可选择石英 电容耦联,一个气体供应  气体供应  包括一个流速控制器  可选附件  氧气供应 水蒸气过滤器 真空计 真空阀 真空泵 流速控制器MFC等   型号  PS350 PS500 PS750 射频功率  600W,13.56MHz  600W,13.56MHz  600W,13.56MHz  仪器外观(cm) (H×W×D)  183×63×61 203×63×89 203×114×63 样品室(cm)(H-W-D)  42×34×50 53×37×68 165×38×41 


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