洁净室压差及其它检测

2014-05-06 15:43  下载量:14

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1、静压差的测定应在所有的门关闭时进行,并应从平面上最里面的房间依次向外测定。   2、对于洁净度高于100级的单向流(层流)洁净室,还应测定在门开启状态下,离门0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。

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