辉光放电发射光谱仪的应用—涂层与超薄膜层的深度剖析

2023/05/05   下载量： 0 次

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检测样本 薄膜材料
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本文首先简单回顾了辉光放电光谱仪（Glow Discharge Optical Emission Spectrometry，GDOES）的发展历程及特性，然后通过实例介绍了GDOES在微米涂层以及纳米超薄膜层深度剖析中的应用，并简介了深度谱定量分析的混合-粗糙度-信息深度（MRI）模型，最后对GDOES深度剖析的发展方向作了展望。

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