型号: | EM01-PV |
产地: | 广东 |
品牌: | ELLITOP |
评分: |
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EM01-PV-III多入射角激光椭偏仪(光伏专用)已升级至EMPro-PV极致型多入射角激光椭偏仪,主要升级内容包括:
EM01-PV-III为太阳能电池测试专用激光椭偏仪,用于单晶硅、多晶硅以及薄膜太阳能电池的膜厚和折射率测量,产品提供单晶硅专用太阳能电池样品台。
单晶、多晶及各种薄膜太阳能电池的折射率和膜厚测量领域,既适合科研院所研究使用,亦适合工厂进行工艺研究分析和产线上产品检测。
激光波长 |
632.8nm(He-Ne laser) |
膜厚测量重复性 |
0.05nm(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) |
折射率精度 |
5x10-4(对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层) |
结构 |
PSCA |
激光光束直径 |
<1mm |
入射角度 |
40°-90°可选,步进5° |
样品方位调整 |
三维平移调节:±12.5mm(X-Y-Z三轴) 二维俯仰调节:±4° 光学自准直系统监视 |
样品台尺寸 |
Φ170mm |
单次测量时间 |
典型1.1s |
推荐测量范围 |
0-2000nm |
最大外形尺寸(长x宽x高) |
980 x 660 x 430mm (入射角为90º时) |
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