昊量DLP/DMD光刻照明光源LumiDLP_价格-上海昊量光电设备有限公司

产品详情

DLP/DMD光刻照明光源

昊量光电新推出LumiDLP光刻照明光源通过大面积提供高度均匀的通量密度为紫外DLP应用提供前所未有的速度和分辨率。模块化设备结合了密集封装的UV-LED阵列成为一种高效、非成像采集光学设备，集成了远心成像光学优化DLP芯片组。

这款DMD光刻光源为基于DLP技术的具有挑战性的曝光应用提供出色的UV-LED照明。特别是要求蕞高强度和多波长光谱的设置非常适合。数值孔径为0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均匀性、这些构成DLP-芯片曝光的完美解决方案。

DLP/DMD照明器提供高达30W的光辐射功率。单波长和多波长设置可供选择（365nm、385nm、395nm、405nm）。这款DLP/DMD光刻照明光源提供的辐射功率与汞放电灯相当、但具有LED技术的寿命和总成本优势。此外、DLP/DMD光刻照明光源还可以很好地替代基于单色激光二极管（例如、LD405nm）的照明器。

LumiDLP光刻照明光源是专为DLP9000和DLP9500芯片设计的、可以轻松集成到基于DMD的系统中。

DLP/DMD光刻照明光源产品亮点：

专为DLP®9000和DLP®9500设计
包括高性能LED驱动器、便于控制和编程
高强度性能能够缩短/减少处理时间
由于频谱宽广、可以使用多种类型的抗蚀剂
不会过时的无汞光源

DLP/DMD光刻照明光源产品规格：

辐射输出功率	DLP9500蕞高30W DLP7000蕞高20W
波长配置	365nm、385nm、395nm、405nm Single and multi-wavelength setups available
光出口角	±12° 匹配DLP微镜倾斜角度
照明均匀性和DMD芯片溢位	>90%均匀性 >10%溢位
热管理	液体冷却设置快速连接、无泄漏耦合所需入口温度≤25℃ <25°
使用寿命	>3000h 模块化、易于更换系统、蕞大限度减少停机时间
LED-驱动器	每个通道0-3A、每个LED阵列18个通道恒流、可调光、脉宽调制
外部接口	USB 2.0 10/100Mbps以太网 RS-232 (TIA-232-F)
程序	串行（USB）和远程登录（以太网）通信命令集
尺寸和重量	照明器：27.5cm×8cm×8.5cm 驱动器：23cm×29cm×4.5cm
重量	照明器：~1.5kg 驱动器：~2kg

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上海昊量光电设备有限公司为您提供昊量DLP/DMD光刻照明光源LumiDLP，昊量LumiDLP产地为其他，属于其它行业专用，除了DLP/DMD光刻照明光源的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供DMD无掩膜光刻机、高功率多波段UV-LED点光源,昊量光电客服电话400-860-5168转2831，售前、售后均可联系。

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型号：	LumiDLP
产地：	其他
品牌：	昊量
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