点衍射干涉仪的精度检验方法

2023-06-14 17:18  下载量:2

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点衍射干涉仪(Point Diffraction Interferometer,PDI)是一种基于衍射干涉原理的光学测量设备。它利用激光束小孔后产生接近理想的点光源对物体表面进行测量,可以实现对物体形状、表面粗糙度、折射率等参数的高精度测量。点衍射干涉仪不需要标准参考件,可以用于超高精度面型的检测,是一种非常重要的高精度测量仪器。

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