超平硅片

超平硅片

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品牌: EMS
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超平硅片(AFM、SEM用硅片)

常作为AFM基底片用在科学研究中,超平硅片的一些参数如下:


4"

6"

8"

直径

100 mm

150 mm

200 mm

向性

<100>

<100>

<100>

级别

P/Boron

P/Boron

P/Boron

Growth Method:

CZ

CZ

CZ

电阻率

10-20 Ohm-cm

10-20 Ohm-cm

10-20 Ohm-cm

厚度

525μm ±20μm

675μm ±20μm

725μm ±20μm

TTV:

<4.00μm

<4.00μm

<4.00μm

SFPD:

<2.0μm

<2.0μm

<2.0μm

Warp:

≤30μm

≤30μm

≤30μm

Bow:

≤30μm

≤30μm

≤30μm

微粒数

≤20@≥0.3μm

≤20@≥0.3μm

≤20@≥0.3μm

正面Front Surface

Polished

Polished

Polished

背面Back Surface

Etched

Etched

Etched

平整度Flat:

2 per SEMI Standard

1 per SEMI Standard

2 per SEMI Standard

Site Flatness:

<2.0μm

<2.0μm

<2.0μm

粗糙Roughness

Typically 2-3?

Typically 2-3?

Typically 2-3?

产品选购:

货号

产品名称

规格

71893-01

Ultra-Flat Silicon Wafer, 4"超平硅片

1

71893-02

Ultra-Flat Silicon Wafer, 6"超平硅片

1

71893-03

Ultra-Flat Silicon Wafer, 8"超平硅片

1


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超平硅片由海德创业(北京)生物科技有限公司为您提供,如您想了解更多关于超平硅片价格、规格、特点、分类选择等信息,欢迎咨询厂家。除供应超平硅片外,还可为您提供石墨烯碳导电胶(水基)、赛默飞冷冻电镜载网环Autogrid Rings(C-CLIPS)、顺磁管/EPR管等耗材,公司有专业的客户服务团队,是您值得信赖的合作伙伴,海德创业客服电话400-860-5168转2853。
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