离子溅射镀膜法-原理

2013/12/13   下载量： 17 次

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用带有几百电子伏特以上动能的粒子或粒子束轰击固体表面，使靠近固体表面的原子获得入射粒子所带能量的一部分而脱离固体进入到真空中，这种现象称为溅射。

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海德创业（北京）生物科技有限公司
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