Gambetti Heron 量产专用大型等离子表面处理设备

Gambetti Heron 量产专用大型等离子表面处理设备

参考价：面议
型号： Heron 80
产地： 意大利
品牌：
评分：
核心参数
溢鑫科创科技集团
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FOR SURFACE MODIFICATION - CLEANING - ACTIVATION - ETCHING - DEPOSITION

SEM/TEM样品预处理，表面改性，等离子清洁，等离子活化，刻蚀以及反应离子刻蚀，等离子沉积等

 

Gambetti Kenologia 是欧洲著名的真空系统解决方案供应商, 其旗下Colibri, Tucano, Heron系列全自动化等离子表面处理系统应用于小型生产以及研发实验室使用和发展历史已经超过了20年, 随着研发提升以及软硬件更新, 现在的系统不但拥有使用的高稳定性, 高效率外, 其集成化桌面型设计以及友好操作界面使得客户上手操作及调整参数都非常简易.

其全球客户群已经3000多套, 遍布欧美各大著名的微纳加工实验室以及化学生物实验室, 著名包括欧洲尤利希中心, 法国生物化学与生物分子研究中心, 法国电子及信息处理实验室, 法国应用光学研究所, 意大利国家光学研究所, 意大利电极加工研究中心, 德国生物技术研究所, 德国航空航天研究所, 德国马普所, 英国国家工程实验室, 美国麻省理工林肯国家实验室等等.

  

Specification:

SpecificationColibri TucanoHeron 
Chamber Volume2 lt5.5 lt25 lt 
Chamber dimensions直径100 mm,高 280 mm直径150 mm, 高 330 mm290 mm(D), 340 mm(P)
ElectrodeWith dark shieldWith dark shieldConcentric with perforated cage
Box dimensions (l,h,d)450 mm, 180 mm, 370 mm450 mm, 280 mm, 440 mm1750mm, 700 mm, 600 mm
Max. power 200 Watts at 13.56 MHz 200 Watts at 13.56 MHz750 Watts at 13.56 MHz
Gas inletTwo or Three Gas LinesTwo or Three Gas Lines Two or Three Gas Lines 
Vacuum pumpHigh Reliable Dual Stage PumpHigh Reliable Dual Stage PumpHigh Reliable Dual Stage Pump

 

 

湿法刻蚀的缺点在于各向同性横向侧面刻蚀和垂直刻蚀是一致的速度。干法刻蚀的目的在于制作一个各向异性刻蚀-意味着刻蚀是定向的。一个各向异性刻蚀性能对于一个好的微纳图形转移是至关重要的。反应离子刻蚀RIE就是这种标准的干法刻蚀方式。RIE典型的反应气体是O2 和 CF4.

 

Applications:

 

溢鑫科创科技集团为您提供Gambetti Heron 量产专用大型等离子表面处理设备Heron 80，nullHeron 80产地为意大利，属于等离子体表面处理仪，除了Gambetti Heron 量产专用大型等离子表面处理设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供Cressington离子溅射仪、离子溅射仪、超高分辨多靶材离子溅射仪,溢鑫科创客服电话400-860-5168转2856，售前、售后均可联系。

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